真空度測(ce)試常見的有(you)破壞性測(ce)試方法和無(wu)損檢測(ce)方法。

破壞(huai)性(xing)(xing)測(ce)(ce)試(shi)方(fang)法見的是(shi)采用(yong)針頭刺入容(rong)器(qi)頂空(kong)(kong)，通過壓力（真(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)）傳感(gan)器(qi)探(tan)測(ce)(ce)獲取真(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)，該測(ce)(ce)試(shi)方(fang)法在(zai)一定(ding)程度(du)(du)上會受(shou)到管路中空(kong)(kong)氣的影(ying)響，真(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)測(ce)(ce)試(shi)儀可以用(yong)于真(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)的粗略(lve)抽(chou)查(cha)，在(zai)小頂空(kong)(kong)容(rong)器(qi)中表現尤(you)為(wei)明顯。典型的應用(yong)是(shi)用(yong)于粗略(lve)的進行(xing)密閉容(rong)器(qi)完整性(xing)(xing)測(ce)(ce)試(shi)（CCIT）評(ping)估(gu)，方(fang)法是(shi)將高真(zhen)空(kong)(kong)的西林瓶(ping)(ping)（抽(chou)真(zhen)空(kong)(kong)到接近0.1mbar）留樣(yang)半年到1年，然后(hou)觀(guan)察瓶(ping)(ping)內真(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)。如(ru)(ru)果里面(mian)還有一定(ding)真(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)，即里面(mian)的壓力是(shi)微負壓，說(shuo)明瓶(ping)(ping)子是(shi)不(bu)漏(lou)的；相(xiang)反，如(ru)(ru)果里面(mian)的壓力是(shi)常壓，說(shuo)明瓶(ping)(ping)子是(shi)漏(lou)的。

如果是(shi)用(yong)于工藝的(de)優化和標準的(de)制定，斷路器真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)測(ce)試儀通常會采用(yong)無損(sun)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)測(ce)試方法(fa)(fa)。無損(sun)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)測(ce)試方法(fa)(fa)見的(de)是(shi)激光(guang)法(fa)(fa)（即調(diao)頻光(guang)譜(pu)法(fa)(fa)（FMS）），它(ta)的(de)基本原理是(shi)空(kong)氣中(zhong)(zhong)的(de)O2、水汽、CO2會在一定波段下有(you)激光(guang)吸(xi)收，并(bing)且會得到吸(xi)收的(de)圖譜(pu),吸(xi)收的(de)激光(guang)量(liang)(在圖中(zhong)(zhong)是(shi)峰高或振(zhen)幅(fu))和物質的(de)含量(liang)成正比，其中(zhong)(zhong)水汽的(de)激光(guang)吸(xi)收圖譜(pu)中(zhong)(zhong)的(de)峰寬（波峰和波谷之間的(de)橫向距離）和頂(ding)空(kong)總壓力(li)成正比。因(yin)此(ci)，采用(yong)激光(guang)法(fa)(fa)能(neng)夠(gou)對容器進行(xing)無損(sun)真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)測(ce)試。激光(guang)法(fa)(fa)對真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)的(de)小檢出限大約為7mbar，因(yin)此(ci)能(neng)測(ce)試出真(zhen)(zhen)實的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)。